| 參數 | 9吋半片規格 | 9吋全片規格 |
| 波長 | 365/405nm | 365/405nm |
| 有效面積 | 230x120mm2 | 230x230mm2 |
| 照度 | 10-110mw/cm2&365nm 20-160mw/cm2&405nm | 10-110mw/cm2&365nm 20-160mw/cm2&405nm |
| 不均勻性 | ≤3% | ≤3% |
| 工作距離 | 350mm(兼容300-400mm) | 240mm(兼容220-300mm) |
| 外形尺寸 | 550x280x678mm(長x寬x高) | 685x660x800mm(長x寬x高) |
| 應用場景 | 光伏太陽能硅片半片曝光 | 光伏太陽能硅片全片曝光 |
